学位論文要旨
No
105824
著者（漢字）
ホー,コック,ヴー
著者（英字）
Ho Qvoc Vu
著者（カナ）
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標題（和）
Siのプラズマ陽極酸化及びデバイス・集積回路製造への応用に関する研究
標題（洋）
A STUDY ON PLASMA ANODIZATION OF SILICON AND ITS APPLICATION TO DEVICES AND IC’S FABRICATION
報告番号
105824
報告番号
甲05824
学位授与日
1982.03.29
学位種別
課程博士
学位種類
工学博士
学位記番号
博工第1619号
研究科
工学系研究科
専攻
電子工学専攻
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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