| No | 108565 | |
| 著者（漢字） | 鈴木,喜之 | |
| 著者（英字） | ||
| 著者（カナ） | スズキ,ヨシユキ | |
| 標題（和） | LPE法による高品質SOI層の形成技術に関する研究 | |
| 標題（洋） | ||
| 報告番号 | 108565 | |
| 報告番号 | 甲08565 | |
| 学位授与日 | 1990.03.29 | |
| 学位種別 | 課程博士 | |
| 学位種類 | 工学博士 | |
| 学位記番号 | 博工第2508号 | |
| 研究科 | 工学系研究科 | |
| 専攻 | 電子工学専攻 | |
| 論文審査委員 | ||
| 内容要旨 | データはありません | |
| 審査要旨 | データはありません | |
| UTokyo Repositoryリンク | http://hdl.handle.net/2261/1844 |