学位論文要旨



No 108567
著者(漢字) 三木,浩史
著者(英字)
著者(カナ) ミキ,ヒロシ
標題(和) 極短ゲートMOS電界効果トランジスタ用ゲート酸化膜と超薄膜SOI構造の研究
標題(洋)
報告番号 108567
報告番号 甲08567
学位授与日 1990.03.29
学位種別 課程博士
学位種類 工学博士
学位記番号 博工第2510号
研究科 工学系研究科
専攻 電子工学専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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UTokyo Repositoryリンク http://hdl.handle.net/2261/1845