学位論文要旨
No
109493
著者(漢字)
道園,真一郎
著者(英字)
著者(カナ)
ミチゾノ,シンイチロウ
標題(和)
高周波窓の破壊とそのTiN薄膜による抑止に関する研究
標題(洋)
報告番号
109493
報告番号
甲09493
学位授与日
1992.03.30
学位種別
課程博士
学位種類
博士(工学)
学位記番号
博工第2830号
研究科
工学系研究科
専攻
物理工学専攻
論文審査委員
─:
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
UTokyo Repositoryリンク