学位論文要旨
No
109704
著者（漢字）
金,煕濬
著者（英字）
著者（カナ）
キム,ヒィジュン
標題（和）
CVD法による窒化アルミニウムの合成機構と物性
標題（洋）
Growth Mechanism and Properties of Aluminum Nitride Prepared by Chemical Vapor Deposition
報告番号
109704
報告番号
甲09704
学位授与日
1992.09.24
学位種別
課程博士
学位種類
博士(工学)
学位記番号
博工第2896号
研究科
工学系研究科
専攻
化学工学専攻
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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