学位論文要旨
No
206268
著者（漢字）
川戸,清爾
著者（英字）
著者（カナ）
カワド,セイジ
標題（和）
シリコンの酸化で生じるフランク型転位ループの研究
標題（洋）
STUDIES OF OXIDATION-INDUCED FRANK SESSILE DISLCCATION LOOPS IN SILLICON
報告番号
206268
報告番号
乙06268
学位授与日
1982.11.11
学位種別
論文博士
学位種類
工学博士
学位記番号
─
研究科
工学系研究科
専攻
−
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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