学位論文要旨
No
207892
著者（漢字）
元廣,友美
著者（英字）
著者（カナ）
モトヒロ,トモヨシ
標題（和）
スパタ成膜法におけるスパタ粒子の輸送過程の解析
標題（洋）
ANALYSIS OF THE TRANSPORT PROCESS OF SPUTTERED PARTICLES IN SPUTTER DEPOSITION
報告番号
207892
報告番号
乙07892
学位授与日
1986.06.12
学位種別
論文博士
学位種類
工学博士
学位記番号
─
研究科
工学系研究科
専攻
物理工学専攻
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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