学位論文要旨
No
207984
著者（漢字）
山本,直樹
著者（英字）
著者（カナ）
ヤマモト,ナオキ
標題（和）
超高集積回路用低抵抗ゲート電極・配線に関する研究
標題（洋）
報告番号
207984
報告番号
乙07984
学位授与日
1986.09.18
学位種別
論文博士
学位種類
工学博士
学位記番号
─
研究科
工学系研究科
専攻
金属材料学専攻
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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