学位論文要旨
No
209061
著者（漢字）
石谷,明彦
著者（英字）
著者（カナ）
イシタニ,アキヒコ
標題（和）
ジクロルシランをソースガスとするシリコンの減圧エピタキシャル成長に関する研究
標題（洋）
報告番号
209061
報告番号
乙09061
学位授与日
1988.12.15
学位種別
論文博士
学位種類
工学博士
学位記番号
─
研究科
工学系研究科
専攻
電子工学専攻
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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