学位論文要旨
No
209159
著者(漢字)
伊藤,和男
著者(英字)
著者(カナ)
イトウ,カズオ
標題(和)
イオン打込みとカニーリングプロセスにより作成した高濃度ドープSi薄層及び細線の電子局在の研究
標題(洋)
報告番号
209159
報告番号
乙09159
学位授与日
1989.02.27
学位種別
論文博士
学位種類
理学博士
学位記番号
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研究科
専攻
論文審査委員
─:
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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