学位論文要旨



No 209159
著者(漢字) 伊藤,和男
著者(英字)
著者(カナ) イトウ,カズオ
標題(和) イオン打込みとカニーリングプロセスにより作成した高濃度ドープSi薄層及び細線の電子局在の研究
標題(洋)
報告番号 209159
報告番号 乙09159
学位授与日 1989.02.27
学位種別 論文博士
学位種類 理学博士
学位記番号
研究科
専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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