学位論文要旨



No 209296
著者(漢字) 逸見,学
著者(英字)
著者(カナ) イツミ,マナブ
標題(和) MOS電界効果トランジスタ用シリコン酸化膜の欠陥に関する研究
標題(洋)
報告番号 209296
報告番号 乙09296
学位授与日 1989.05.18
学位種別 論文博士
学位種類 工学博士
学位記番号
研究科 工学系研究科
専攻 電子工学専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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