学位論文要旨



No 210249
著者(漢字) 窪田,政一
著者(英字)
著者(カナ) クボタ,マサカズ
標題(和) シリコン清浄表面の相転移および金-シリコン界面でのシリサイド形成の研究
標題(洋)
報告番号 210249
報告番号 乙10249
学位授与日 1991.06.24
学位種別 論文博士
学位種類 理学博士
学位記番号 第10249号
研究科
専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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UTokyo Repositoryリンク http://hdl.handle.net/2261/53700