No | 210249 | |
著者(漢字) | 窪田,政一 | |
著者(英字) | ||
著者(カナ) | クボタ,マサカズ | |
標題(和) | シリコン清浄表面の相転移および金-シリコン界面でのシリサイド形成の研究 | |
標題(洋) | ||
報告番号 | 210249 | |
報告番号 | 乙10249 | |
学位授与日 | 1991.06.24 | |
学位種別 | 論文博士 | |
学位種類 | 理学博士 | |
学位記番号 | 第10249号 | |
研究科 | ||
専攻 | ||
論文審査委員 | ||
内容要旨 | データはありません | |
審査要旨 | データはありません | |
UTokyo Repositoryリンク | http://hdl.handle.net/2261/53700 |