学位論文要旨



No 211155
著者(漢字) 岩黒,弘明
著者(英字)
著者(カナ) イワクロ,ヒロアキ
標題(和) H_2プラズマ処理により障壁高を高めたAl/n型(100)Siショットキーダイオードの界面層
標題(洋) Interfacial Layers of High-barrier Schottky Diode of A1/n-type(100) Si Exposed to H_2 Plasma
報告番号 211155
報告番号 乙11155
学位授与日 1993.03.15
学位種別 論文博士
学位種類 博士(理学)
学位記番号 第11155号
研究科
専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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