学位論文要旨
No
211156
著者（漢字）
高橋,捷一
著者（英字）
著者（カナ）
タカハシ,ショウイチ
標題（和）
超伝導磁石を用いた水平方向磁界下でのチョクラルスキー法育成シィコン単結晶中の格子間酸素の成長軸方向分布について
標題（洋）
Distribution of Interstitial Oxygen along the Growth Axis of Silicon Single Crystal Grown by Czochralski Method in a Transverse Magnetic Field with Superconducting Magnet.
報告番号
211156
報告番号
乙11156
学位授与日
1993.03.15
学位種別
論文博士
学位種類
博士(理学)
学位記番号
第11156号
研究科
専攻
論文審査委員
─：
内容要旨
データはありません
審査要旨
データはありません
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