学位論文要旨



No 211217
著者(漢字) 山口,憲司
著者(英字)
著者(カナ) ヤマグチ,ケンジ
標題(和) プラズマー材料相互作用における物理・化学過程に関する基礎的研究
標題(洋) Fundamental Aspects of Physical and Chemical Processesin Plasma-Material Interactions
報告番号 211217
報告番号 乙11217
学位授与日 1993.04.14
学位種別 論文博士
学位種類 博士(工学)
学位記番号 第11217号
研究科 工学系研究科
専攻 システム量子工学専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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