学位論文要旨



No 211412
著者(漢字) 西村,允
著者(英字)
著者(カナ) ニシムラ,マコト
標題(和) 高周波スパッタリング法による二硫化モリブデン膜の潤滑特性に関する研究
標題(洋)
報告番号 211412
報告番号 乙11412
学位授与日 1993.09.24
学位種別 論文博士
学位種類 博士(工学)
学位記番号 第11412号
研究科 工学系研究科
専攻 航空宇宙工学専攻
論文審査委員 ─:   
内容要旨

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審査要旨

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